13.9 nm马赫贞德干涉仪用软X射线分束镜研究

• 作者: 吴文娟 张众 张树敏 王占山 王洪昌 王风丽 秦树基 陈玲燕
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 软X射线 分束镜 马赫贞德干涉仪 Mo/Si多层膜
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 惯性约束聚变
• 页码范围: 773-778
• 页数: 6页
• 分类号: TN246
• 字数: 3856字
• 语种: 中文

摘要

介绍了13.9 nm马赫贞德干涉仪用软X射线分束镜的设计、制备与性能检测.基于分束镜反射率和透过率乘积最大的评价标准,设计了13.9 nm软X射线激光干涉实验用多层膜分束镜.采用磁控溅射方法在有效面积为10 mm×10 mm、厚度为100 nm的Si3N4基底上镀制了Mo/Si多层膜,制成了多层膜分束镜.利用X射线掠入射衍射的方法测量了Mo/Si多层膜的周期.用扩束He-Ne激光束进行的投影成像方法定性分析了分束镜的面形精度,利用光学轮廓仪完成了分束镜面形精确测量.利用北京同步辐射装置测量了分束镜反射率和透射率,在13.9 nm处,分束镜反射率和透过率乘积达4%.使用多层膜分束镜构建了软X射线马赫贞德干涉仪,并应用于13.9 nm软X射线激光干涉实验中,获得了清晰的含有C8H8等离子体电子密度信息的动态干涉条纹.