13.9nm软X射线激光用大面积多层膜分束镜研制

• 作者: 吴文娟 张众 王占山 王洪昌 王风丽 秦树基 陈玲燕
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 软X射线 分束镜 多层膜 等离子体诊断
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 1089-1091
• 页数: 3页
• 分类号: TN246
• 字数: 2055字
• 语种: 中文

摘要

基于分束镜反射率和透射率的乘积为衡量标准的原则,设计了13.9nm软X射线激光干涉测量所需的多层膜分束镜,用磁控溅射法在有效面积达10mm×10mm,厚100nm的氮化硅窗口上镀制Mo/Si多层膜,实现了分束镜制作.用表面轮廓仪实测分束镜面形精度达到nm量级,同步辐射反射率计测试表明,分束镜的反射率和透射率乘积约4%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈玲燕	同济大学精密光学工程技术研究所	60	522	13.0	19.0
2	王占山	同济大学精密光学工程技术研究所	92	640	14.0	19.0
3	王风丽	同济大学精密光学工程技术研究所	27	135	7.0	9.0
4	张众	同济大学精密光学工程技术研究所	25	122	7.0	10.0
5	秦树基	同济大学精密光学工程技术研究所	24	190	9.0	12.0
6	吴文娟	同济大学精密光学工程技术研究所	44	167	8.0	10.0
7	王洪昌	同济大学精密光学工程技术研究所	14	122	7.0	10.0