软X射线多层膜与衰减膜研究

• 作者: 吴永刚 周斌 唐伟星 王占山 秦树基 陈玲燕
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 软X射线 多层膜 衰减膜
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 385-388
• 页数: 4页
• 分类号: O434.14
• 字数: 3538字
• 语种: 中文

摘要

采用随机数的方法,发展了一种普适的多层膜设计方法,这种方法除可设计一 般的周期多层膜,更重要的是它可以根据选定的评价因子,设计不同要求的非周期多层膜.用磁控溅射方法完 成软X射线多层膜制备,X射线衍射、卢瑟福背散射、俄歇电子谱和反射率的相对测试用来表征多层膜结构和特性,所 得结果说明多层膜的结构完整,周期参数正确.用离子束溅射方法成功地制备了有一定反射率和透过率的软X射线 半反半透分束镜;分析了Ag和Zr衰减膜中的杂质含量与分布及其对衰减膜特性的影响,并对衰减系数进行了修正,为实验提供优质的衰减膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周斌	同济大学物理系	140	1582	22.0	31.0
2	陈玲燕	同济大学物理系	60	522	13.0	19.0
3	王占山	同济大学物理系	92	640	14.0	19.0
4	秦树基	同济大学物理系	24	190	9.0	12.0
5	吴永刚	同济大学物理系	53	242	9.0	13.0
6	唐伟星	同济大学物理系	6	19	3.0	4.0