宽带平坦型软X射线多层反射膜的设计

• 作者: 张铁强 曹健林 柯常军 王占山 郑咏梅 陈星旦
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 平坦 软X射线多层膜 随机数 评价函数
• 年，卷（期）: 1999,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 19-22
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 2143字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.1999.03.004

摘要

提出一种宽带平坦型软X射线多层反射膜的设计方法.给出了18nm-20nm波段的设计结果,整个波段的反射率与25%的最大偏差小于1.5%.这种方法对于软X射线波段的成像、光谱分析等应用有重要意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈星旦	中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室	36	1163	23.0	34.0
2	曹健林	中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室	37	328	10.0	17.0
3	王占山	中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室	9	63	5.0	7.0
4	张铁强	吉林工业大学应用物理系	7	40	4.0	6.0
5	郑咏梅	吉林工业大学应用物理系	2	18	2.0	2.0
6	柯常军	吉林工业大学应用物理系	1	6	1.0	1.0