软X射线多层膜透射式起偏器和检偏器设计

• 作者: 王占山 王洪昌 陈玲燕 顾中祥
• 来源期刊: 同济大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 软X射线 多层膜 透射式起偏器和检偏器 评价函数 偏振率
• 年，卷（期）: 2005,（7）
• 所属期刊栏目: 纪念世界物理年特约专栏
• 页码范围: 859-863
• 页数: 5页
• 分类号: O434|O484.41
• 字数: 3583字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-374X.2005.07.002

摘要

叙述了软X射线波段多层膜透射式起偏器和检偏器的设计原理,提出了设计准则,通过该准则设计的多层膜偏振元件能够同时满足具有较大的光通量和偏振度要求.同时还优化了不同膜厚比情况下软X射线多层膜偏振元件的性能,讨论了在多层膜制作过程中,由于表界面粗糙度和扩散的不同对元件性能的影响,这些工作为制作软X射线多层膜透射式起偏器和检偏器提供了设计基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈玲燕	同济大学精密光学工程技术研究所	60	522	13.0	19.0
2	王占山	同济大学精密光学工程技术研究所	92	640	14.0	19.0
3	王洪昌	同济大学精密光学工程技术研究所	14	122	7.0	10.0
4	顾中祥	同济大学精密光学工程技术研究所	1	1	1.0	1.0