基于评价函数的极紫外多层膜反射式起偏器和检偏器设计

• 作者: 朱京涛 王占山 谭默言
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 多层膜 偏振 反射 极紫外 评价函数
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 954-958
• 分类号: O434|O484.4
• 字数: 2778字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20112304.0954

摘要

基于三种不同评价函数,利用全局优化算法设计了极紫外波段高性能反射式多层膜偏振元件.通过比对不同评价函数的设计结果,分析了评价函数、工作角度及膜层数对反射式多层膜偏振片性能的影响,确定了极紫外多层膜反射式偏振片设计的角度选择、膜层数选择及评价函数选择标准.为解决传统的单一性能优化造成的偏振度损失的问题,构造了偏振比对数结合反射率的评价函数,该方法设计的偏振元件性能优于传统优化方法设计的结果.