极紫外多层膜反射率的模拟计算与分析

• 作者: 孙翔 易子为 曾涛 程发银
• 来源期刊: 重庆工商大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 极紫外多层膜 理想界面 反射率 模拟计算
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 页码范围: 85-89,96
• 页数: 6页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2790字
• 语种: 中文

摘要

使用matlab软件编程计算了钼/硅多层膜的反射率随膜层数、波长及入射角等的变化.结果显示,在极紫外波段,存在中心波长为13.3 nm和17.2 nm两个峰值反射波长,反射率分别达到73.1％和53.7％;两中心波长的最佳镀膜层数分别为80和60;两中心波长在入射角小于8°的近正入射情形均存在一个反射率曲线平坦段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程发银	重庆工商大学计算机科学与信息工程学院	13	28	2.0	5.0
2	易子为	重庆工商大学计算机科学与信息工程学院	1	0	0.0	0.0
3	曾涛	重庆工商大学计算机科学与信息工程学院	1	0	0.0	0.0
4	孙翔	重庆工商大学计算机科学与信息工程学院	1	0	0.0	0.0