一种用于极紫外多层膜反射率测量的平台

• 作者: 尼启良 巩岩 曹继红 解滨 陈波
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 极紫外多层膜 反射率 步进电机 平台
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 测试技术研究
• 页码范围: 138-140
• 页数: 3页
• 分类号: O484.41|O434.1
• 字数: 2012字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2003.02.011

摘要

一种用于紫外多层膜反射率测量的样品台, 由步进电机驱动. 其构成由三个部分: 机械系统, 计算机控制系统, 单片机控制系统. 最后对极紫外多层膜进行了测量, 结果显示该系统满足使用要求, 运行可靠.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈波	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	167	1116	17.0	24.0
2	巩岩	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	72	423	13.0	17.0
3	尼启良	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	35	217	8.0	13.0
4	解滨	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	11	1.0	3.0
5	曹继红	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	31	2.0	3.0