软X射线多层膜设计中表面粗糙度对反射率的影响

• 作者: 宋利民 胡家升
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 粗糙度 反射率 多层膜
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 材料科学与技术
• 页码范围: 380-385
• 页数: 6页
• 分类号: O434.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.04.005

摘要

给出了一种改进的软X射线波段的多层膜设计方法.在设计过程中,考虑了反射镜基底和各膜层之间的均方(RMS)粗糙度对反射率的影响;在Stearns提出的散射理论的基础上给出了粗糙界面的数学模型.文中以波长为λ=1.03 nm的软X射线为例进行设计,设计结果表明:要使波长为λ=1.03 nm的多层膜的反射率大于10%,反射镜基底的均方粗糙度不应超过0.6 nm.实验中选择几块表面粗糙度为0.5 nm(RMS)的熔石英平面镜作为基底来制作适用于该波长的、层对数超过70的多层膜.然后在的入射角下测量反射率,测得的值为10%,这与采用本设计方法得到的计算结果一致.该反射镜作为X射线谱仪的分光元件被应用于惯性约束聚变(ICF)的过程诊断中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡家升	大连理工大学电子与信息工程学院	65	797	16.0	24.0
2	宋利民	大连海事大学电子与信息工程学院	12	53	4.0	7.0