13.9 nm Laminar分束光栅的研制

• 作者: 付绍军 刘颖 徐向东 洪义麟 谭鑫
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 软X射线 分束光栅 衍射光栅 干涉仪
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 33-37
• 页数: 5页
• 分类号: O436.1|TH744.3
• 字数: 2065字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.01.006

摘要

利用全息-离子束刻蚀工艺制作了工作波长为13.9 nm的Laminar分束光栅.光栅的线密度为1 000 lp/mm,槽深13 nm,占宽比0.43,Au膜厚度为40 nm左右;当工作波长为13.9 nm,入射角为81.2°时,其0级与-1级衍射光衍射效率乘积的最大值为8.1%,同时0级与-1级衍射效率亦接近,约为27%和30%.实验结果表明,研制的Laminar光栅可用于13.9 nm激光的分束,能够获得＞7%的分束效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐向东	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	74	701	15.0	21.0
2	洪义麟	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	56	478	13.0	19.0
3	付绍军	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	69	435	12.0	15.0
4	刘颖	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	158	3777	30.0	58.0
5	谭鑫	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	16	55	4.0	7.0