大面积软X射线自支撑金透射光栅的研制

• 作者: 付绍军 刘正坤 刘颖 徐向东 洪义麟 邱克强 陈火耀
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 自支撑金透射光栅 全息光刻 电镀
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2589-2595
• 分类号: O436.1
• 字数: 2737字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111911.2589

摘要

针对等离子体诊断及空间环境探测等领域对软X射线透射光栅的需要,采用全息光刻和微电镀技术制作了自支撑软X射线金透射光栅.在基底与光刻胶之间增加减反膜层以降低高反射基底引起的驻波效应对掩模槽形的影响,使用全息光刻技术获得了侧壁陡直的光栅掩模.然后,在掩模顶部镀保护层并使用反应离子刻蚀获得电镀掩模,通过改变保护层厚度来调节电镀掩模的占宽比.最后,利用微电镀技术沉积金,成功制作了线条密度为3 450 gr/mm的自支撑透射光栅,光栅周期约为290 nm,占宽比为0.55,金吸收体为500 nm,光栅尺寸达到10 mm× 15 mm.在国家同步辐射装置上,测得在5～12 nm软X射线波段其+1级透射衍射效率约为5％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐向东	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	74	701	15.0	21.0
2	洪义麟	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	56	478	13.0	19.0
3	刘颖	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	158	3777	30.0	58.0
4	邱克强	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	25	135	6.0	10.0
5	刘正坤	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	32	132	6.0	9.0
6	陈火耀	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	8	8	2.0	2.0