软X射线位相型金透射光栅的设计与制作

• 作者: 付绍军 刘颖 徐向东 洪义麟 邱克强
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 透射位相光栅 全息光刻 电镀
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 唯象论的经典领域
• 页码范围: 6329-6334
• 页数: 6页
• 分类号: O37
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.10.042

摘要

根据衍射光栅的标量理论,计算并讨论了金透射光栅在软X波段衍射效率对光栅厚度和占宽比的依赖关系.结果表明,选择合适的光栅槽深和占宽比,高达21.9%的衍射效率可能被获得,远高于振幅型光栅的+1级衍射效率10.14%.通过全息光刻与电镀转移技术制作的位相型金透射光栅由300 nm的聚酰亚胺薄膜支撑,光栅槽深200 nm,占宽比为0.55,周期为1 μm,面积为20mm×5mm.在国家同步辐射装置上,测得其+1级透射衍射效率在波长λ=7.425 nm时获得最大值,约为16%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐向东	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	74	701	15.0	21.0
2	洪义麟	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	56	478	13.0	19.0
3	付绍军	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	69	435	12.0	15.0
4	刘颖	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	158	3777	30.0	58.0
5	邱克强	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	25	135	6.0	10.0