软X射线双频光栅设计及制作

• 作者: 付绍军 刘正坤 刘颖 徐向东 邱克强
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 软X射线双频光栅 全息曝光 剪切干涉仪
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1780-1785
• 页数: 6页
• 分类号: O436.1|TH744.3
• 字数: 2698字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132107.1780

摘要

以软X射线双频光栅作为剪切干涉元件,研究了剪切干涉法在激光等离子体诊断实验中的应用.为提高实验成功率,研究了双频光栅栅线的平行度及光栅效率.根据软X射线双频光栅栅线平行度与剪切干涉系统的干涉图像的关系,理论计算得出光栅平行度的指标要求.在全息曝光工艺中,通过衍射光斑位置检测法和莫尔条纹法确认光栅平行性,保证光栅平行度达到0.01°.利用合肥国家同步辐射实验室计量站对双频光栅的两组-1级衍射效率进行测试.测试结果显示,光栅平行性满足系统要求,光栅的两组-1级衍射效率均达到10％.软X射线双频光栅剪切干涉实验结果表明,双频光栅平行度及衍射效率满足激光等离子体诊断实验需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐向东	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	74	701	15.0	21.0
2	付绍军	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	69	435	12.0	15.0
3	刘颖	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	158	3777	30.0	58.0
4	邱克强	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	25	135	6.0	10.0
5	刘正坤	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	32	132	6.0	9.0