采用数字校正、PWM反馈技术的硅微加速度计

• 作者: 安康 苏岩
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微加速度计 数字控制 PWM 静电力反馈
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 惯性微纳器件与技术
• 页码范围: 2233-2235
• 页数: 3页
• 分类号: TH82
• 字数: 1518字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.244

摘要

本文提出了基于数字信号处理器TMS320F2810的数字控制、PWM静电力反馈硅微加速度计方案.介绍了该方案的基本工作原理,建立了相应的闭环系统数学模型,并在s域设计了系统校正环节.文章还提出了数字校正环节的设计方法,并分析了其对系统动态特性的影响.该方案可以实现硅微加速度计的数字闭环控制,并可以实现加速度计的PWM数字信号输出.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏岩	南京理工大学机械工程学院	36	245	9.0	14.0
2	安康	东南大学仪器科学与工程系	3	17	2.0	3.0