一种高精度微硅加速度计的模态分析与模拟验证

• 作者: 刘建朝 单光宝 魏海龙
• 来源期刊: 微电子学与计算机
• 关键词: '轿式'结构 微硅加速度计 模态分析 有限元分析
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 微电子技术
• 页码范围: 70-72
• 页数: 3页
• 分类号: TP3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7180.2003.04.022

摘要

文章介绍了一种"轿式"结构高精度微硅加速度计的总体结构.从振动机理出发,重点分析该加速度计的振动模态与结构参数的关系,得出了两者之间的函数关系,利用Ansys结构分析软件对其进行了模拟验证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	单光宝		14	37	3.0	6.0
2	刘建朝		4	22	3.0	4.0
3	魏海龙		12	38	3.0	5.0