应用于纳米测量机的MEMS微接触式测头的结构设计和优化

• 作者: 李源 栗大超 胡小唐 赵大博 郭彤 陈津平
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 微接触式测头 纳米测量机 结构设计 优化
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 测试、检测与控制
• 页码范围: 1512-1515
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 3337字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.053

摘要

为了提高MEMS微接触式测头的性能,系统开展了测头的结构设计和参数优化.根据测头结构各个部分的设计目标,提出了测头悬挂系统拓扑结构的设计方案.基于测头结构的力学模型,提出了结构参数对测头性能的影响机理,并采用有限元方法对测头的测杆、中心连接体、梁等结构参数进行了仿真优化,获得了符合测头整体性能设计要求的参数及应力分布曲线.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李源	天津大学测试技术及仪器国家重点实验室	13	121	6.0	11.0
2	胡小唐	天津大学测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
3	栗大超	天津大学测试技术及仪器国家重点实验室	89	722	14.0	20.0
4	郭彤	天津大学测试技术及仪器国家重点实验室	46	370	11.0	17.0
5	陈津平	天津大学测试技术及仪器国家重点实验室	30	267	10.0	15.0
6	赵大博	天津大学测试技术及仪器国家重点实验室	5	39	5.0	5.0