Love波传感器及其质量灵敏度测试

• 作者: 史建亮 吴一辉 胡友旺 贾宏光
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: Love波传感器 LiTaO3 PMMA 灵敏度
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 生物化学微纳器件与技术
• 页码范围: 2126-2129,2134
• 页数: 5页
• 分类号: TP2
• 字数: 3084字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.215

摘要

为实现流体领域的液相传感,设计并制作了基于36°-YX LiTaO3作为压电衬底、PMMA薄膜作为波导层的Love波传感器;通过微电流电铸实验测量得到Love波传感器的质量灵敏度为-2.281 g-1cm2.分析了波导层厚度、器件温度和电铸电极的厚度三个因素对灵敏度的影响,为进一步提高灵敏度提供了参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴一辉		13	103	5.0	9.0
2	贾宏光		2	17	2.0	2.0