热处理对Parylene C薄膜性能的影响

• 作者: 吉祥波 唐贤臣 赵宗峰 陈艳平 鲜晓斌
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜性能 PARYLENE 热处理 傅里叶红外光谱 X射线衍射 断裂伸长率 抗拉强度 PC
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 483-484
• 页数: 2页
• 分类号: O484.41

摘要

用Gorham方法沉积制备厚度为0．087mm的PC膜。将PC膜置于老化箱中热处理，时间为0～21h，温度为（180±1）℃，相对湿度为50%-70％。对热处理后的PC膜进行了X射线衍射、傅里叶红外光谱、抗拉强度，断裂伸长率、雾度、透湿率等分析。