Ni膜轧制及退火工艺

• 作者: 李国荣 李朝阳 邢丕峰 郑凤成
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金属薄膜 退火工艺 表面粗糙度 轧制 NI 薄膜厚度 装配精度 尺寸精度
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 502-503
• 页数: 2页
• 分类号: O484.1

摘要

对于置信度要求的逐步提高，对所使用靶的尺寸精度和装配精度的要求也越来越高。平面靶制各中大量使用不同厚度的金属薄膜，在使用量不断增加的同时对所使用的薄膜厚度和表面粗糙度的要求也在不断提高。为了满足物理实验对薄膜的厚度精度以及表面粗糙度的要求，需要很好地控制工艺以提高薄膜的厚度精确控制能力和降低表面粗糙度，使用方法制备出尽量薄的薄膜。