基于力学描述的MEMS悬臂梁系统级动态模拟方法

• 作者: 张健 李伟华
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS设计 系统级模拟 力学描述 等效电路 受控源
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳设计
• 页码范围: 1376-1380
• 页数: 5页
• 分类号: TN4
• 字数: 3337字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.016

摘要

提出基于受力分析与能量原理建立等效集总力学描述的思想,实现对机电耦合MEMS悬臂梁动态行为的系统级模拟.利用受控源的反馈作用实现耦合,所建立的等效电路可用于模拟静电驱动下悬臂梁的转移特性、瞬态响应与固有频率.与Saber模拟的数据进行对比,证实了该方法的有效性.