特种电子气体一三氟化氮

• 来源期刊: 试剂与精细化学品
• 学科: 工学
• 关键词: 电子气体 三氟化氮 工业化生产 化学激光器 微电子工业 净化设备 蚀刻气体 六氟化钨
• 年，卷（期）: sjyjxhxp_2006,（11）
• 页码范围: 16
• 页数: 1页
• 分类号: TQ116

摘要

简介：某净化设备研究所研制的高纯特种电子气体一三氟化氮（NF3）填补了我国一项科研空白，现已扩建转化为工业化生产。该气体用于高能氟化氘化学激光器的氟源，微电子工业中蚀刻气体和清洗剂。正在开发的几种电子特种气体：（1）高纯六氟化钨．（2）高纯氘气。（3）高纯氨气。