用于神经电信号记录的多通道微探针

• 作者: 张若昕 裴为华 陈弘达 隋晓红 鲁琳
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 神经记录 微探针 MEMS
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳制造
• 页码范围: 1419-1421,1425
• 页数: 4页
• 分类号: TN3
• 字数: 2807字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.028

摘要

:以体硅为衬底,采用微机械加工技术(MEMS)制作了七通道的可植入到脑皮层的微探针,用于记录神经电信号.从生物相容性、减小植入损伤、工艺制作难度等方面考虑,制作了以二氧化硅/硅(SiO2/Si)为主体的微探针,并详述了其具体制作工艺流程.扫描电镜(SEM)照片显示微探针针长3 mm、针宽100 μm、针厚约为20 μm,各个记录点直径10 μm、间距120μm,实现了各通道之间良好的信号隔离.微探针距离针尖1 mm范围内的针宽以一定弧度由100 μm逐渐变窄,同时针尖锥角为6°,此种结构有利于减小植入时对脑组织的损伤.通过体外测试得到,当频率由10 kHz增加到10 MHz时,微电极各个通道阻抗由150.5 kΩ降低到6.0 kΩ.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈弘达	中国科学院半导体研究所国家重点集成光电实验室	82	341	10.0	13.0
2	鲁琳	中国科学院半导体研究所国家重点集成光电实验室	4	23	3.0	4.0
3	裴为华	中国科学院半导体研究所国家重点集成光电实验室	18	73	5.0	8.0
4	隋晓红	中国科学院半导体研究所国家重点集成光电实验室	6	49	5.0	6.0
5	张若昕	中国科学院半导体研究所国家重点集成光电实验室	3	27	3.0	3.0