一种用于高密度信息存储中数据读取的新方法的理论和实验研究

• 作者: 吴亚雷 文莉 褚家如 许晓慧 赵钢
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: PZT 悬臂梁 电容检测 数据存储
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳尺度性能
• 页码范围: 1677-1682
• 页数: 6页
• 分类号: TP3
• 字数: 1110字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.097

摘要

通过测量压电悬臂梁的等效电容来检测悬臂梁的振动信息,以应用于基于扫描探针技术的高密度信息存储中进行数据读取.在压电悬臂梁的PZT压电层上施加交流电场使其工作在共振状态,并使其自由端与存储介质进行周期性的接触.当悬臂梁的自由端扫描到数据点时,其自由端的振幅和所受到的外力将发生变化,进而引起PZT压电层的介电常数发生变化.因此,通过检测悬臂梁上压电层的等效电容变化,便可以得到悬臂梁的振幅改变量,从而实现了对存储介质上数据的读取.实验结果表明,该可以实现1nm的位移检测分辨率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚家如	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	76	566	14.0	19.0
2	赵钢	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	28	121	7.0	9.0
3	文莉	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	18	49	4.0	6.0
4	吴亚雷	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	12	53	5.0	6.0
5	许晓慧	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	13	75	6.0	8.0