基于集总参数宏模型的微机械陀螺多域耦合分析

• 作者: 吕湘连 李伟剑 苑伟政
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微机电系统 集总参数宏模型 微机械陀螺 多域耦合分析
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 401-405
• 页数: 5页
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2006.04.018

摘要

对微机械陀螺中静电、结构、空气阻尼等物理域进行有效分离,在分别对各域进行数值模拟的基础上提取相应的物理参数,建立集总参数模型.在考虑边缘效应的情况下,提取了微结构电容与位移的解析表达式;根据热-流体类似方法,提取了阻尼孔结构的阻尼系数和压膜刚度;根据结构动力学理论,由模态分析提取结构的有效刚度和有效质量.将这些物理参数综合在系统仿真器中与外围电路共同进行仿真,准确地评估不同条件下微机械陀螺的行为特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苑伟政		70	351	10.0	14.0
2	吕湘连		3	6	2.0	2.0
3	李伟剑		1	4	1.0	1.0