光谱型椭偏仪对各向异性液晶层的测量

• 作者: 刘永军 宣丽 曹召良 李大禹 穆全全 胡立发
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光谱型椭偏仪 各向异性 折射率 相位延迟
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 总论
• 页码范围: 1055-1060
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 4670字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.03.010

摘要

探讨了利用普通光谱型椭偏仪对各向异性液晶层进行综合性测量的可行性. 并利用法国Jobin Yvon公司的UVISEL SPME(Spectroscopic Phase Modulated Ellipsometer)光谱型椭偏仪测量了光学各向异性液晶层的折射率no和ne及液晶层厚d,进一步利用椭偏仪在透射方式下测量了平行排列液晶层的光延迟特性Δnd,二者取得了很好的一致性,说明利用光谱型椭偏仪可以实现对光学单轴性液晶层及其他材料的测量,测厚精度为纳米量级.