GMM和SAW谐振器复合磁传感器设计与分析

• 作者: 文玉梅 李平 肖庭富 郑敏
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 超磁致伸缩材料 声表面波 谐振器 磁传感器
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 物理量传感器
• 页码范围: 263-265
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.13
• 字数: 1488字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.084

摘要

提出了一种新的超磁致伸缩材料(GMM)和声表面波(SAW)谐振器构成的复合磁传感器,将磁场中GMM的应力应变传递到SAW谐振器上,改变其谐振频率,检测谐振频率进行磁场测量.推导了复合磁传感器在磁场中的频率响应及磁场-频率偏移量关系,并对传感器的静态特性进行了测试.分析表明该传感器为低通系统,截止频率约为14.34 Hz.实验验证了复合传感器的最高静态灵敏度可达到190 Hz/Oe.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑敏		1	2	1.0	1.0
2	文玉梅		1	2	1.0	1.0
3	李平		2	6	2.0	2.0
4	肖庭富		1	2	1.0	1.0