纳米测量方法及其研究进展综述

• 作者: 裴雅鹏
• 来源期刊: 宇航计测技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米技术 测量 激光干涉仪
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 页码范围: 23-27
• 页数: 5页
• 分类号: O435
• 字数: 5335字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7202.2007.06.007

摘要

综述了纳米测量方法,主要可归纳为光学和非光学两大类测量技术.通过对各种方法的测量原理、测量装置、测量准确度及其亟待解决问题的分析,阐明了纳米测量技术的发展现状、发展趋势,对纳米测量技术的发展具有一定的推动和指导作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	裴雅鹏		12	40	2.0	6.0