光学表面中频误差的控制方法-确定区域修正法

• 作者: 周旭升 戴一帆 李圣怡 杨智 郑子文
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学表面 中频误差 确定区域 最大熵原理
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1668-1673
• 页数: 6页
• 分类号: TH703|TQ171.684
• 字数: 4013字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924x.2007.11.006

摘要

提出了一种有效控制光学表面中频误差的方法--确定区域修正法.给出了确定区域修正法的基本思想和工作流程,并基于最大熵原理对抛光盘运动参数进行了优化选择(行星运动方式转速比为-1或0,偏心率为接近于0但不等于0).最后,在Φ100 mm K9玻璃平面镜上进行了抛光对比实验.实验结果表明,应用确定区域修正法,在1.5 min内可使0.28 mm-1频率误差对应的PSD值从14.76 nm2·mm下降到3.70 nm2·mm,有效地控制了光学表面的中频误差.与其他方法相比,确定区域修正法的突出优点在于其确定性和高效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴一帆	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	64	1121	16.0	32.0
2	李圣怡	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	77	1079	17.0	30.0
3	郑子文	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	18	195	8.0	13.0
4	杨智	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	3	55	3.0	3.0
5	周旭升	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	5	107	4.0	5.0