MoS2/Zr复合薄膜的制备及性能研究

• 作者: 宋文龙 张辉 邓建新
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: 涂层刀具 MoS2软涂层 中频磁控溅射 MoS2/Zr复合薄膜
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 表面工程
• 页码范围: 39-43,47
• 页数: 6页
• 分类号: TB383
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2007.12.009

摘要

采用新型中频磁控溅射技术及多弧离子镀相结合的复合镀膜工艺,在硬质合金YT14基体上制备了MoS2 /Zr复合薄膜.采用扫描电子显微镜(SEM)考察MoS2 /Zr复合薄膜表面及截面的形貌,利用能谱分析(EDX)薄膜的成分组成.测试涂层的厚度、显微硬度及涂层与基体之间的结合力等性能参数.结果表明:制备的MoS2 /Zr复合薄膜结构致密,结合力约为60N,厚度约为2.6μm,硬度约为HV800.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓建新	山东大学机械工程学院	164	2357	25.0	39.0
2	宋文龙	山东大学机械工程学院	13	103	6.0	10.0
3	张辉	山东大学机械工程学院	106	886	17.0	25.0