Au/SiO2复合纳米颗粒膜的制备及退火行为研究

• 作者: 崔传文 张敬尧 张月甫 张秋霞 李玉国 王建波
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 复合纳米颗粒膜 磁控溅射 金/二氧化硅 自组装 模板
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 纳米材料与结构
• 页码范围: 1059-1062
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1|O484.5
• 字数: 1340字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.12.006

摘要

室温下用磁控溅射法在Si(111)衬底上生成Au/SiO2复合纳米颗粒膜.用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射方法(XRD)对不同温度退火后的Au/SiO2复合薄膜的表面形貌、微观结构进行了表征.SEM结果表明,随着退火温度升高,Au纳米颗粒先形成大的聚集后出现分布均匀的超微颗粒.XRD结果显示700℃时Au的衍射峰最强,随后峰强有所减弱,这与SEM检测结果相吻合.另外实验结果证实在1000℃退火时自组装生成空间分布均匀(直径约为70nm)的Au纳米点,可以用来作为生长一维纳米材料的模板.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李玉国		5	16	3.0	3.0
2	王建波		3	9	2.0	3.0
3	张秋霞		3	9	2.0	3.0
4	张月甫		2	6	1.0	2.0
5	崔传文		2	6	1.0	2.0
6	张敬尧		1	1	1.0	1.0