一种基于薄膜体声波谐振器的高灵敏度质量传感器

• 作者: 周海峰 李侃 董树荣 韩雁 马绍宇
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 质量传感器 薄膜体声波谐振器 灵敏度 固态装配型谐振器
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 40-44
• 页数: 5页
• 分类号: TN45
• 字数: 2025字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种针对于生物传感应用的薄膜体声波谐振(thin film bulk acoustic resonator,FBAR)质量传感器.薄膜体声波谐振器谐振频率非常高(能够达到几兆赫兹),同时具有较大的品质因数,基于这种器件的质量传感器具有非常高的质量灵敏度.首次提出了三对全金属的A1-W层作为布拉格声学反射层的FBAR,制备出了固态装配型的FBAR传感器.通过淀积不同厚度Al层顶电极分析了器件的质量灵敏度,仿真得到的质量传感器串联谐振频率在2.8 GHz附近,质量响应度达到5×10-4 ng/Hz//cm2,可以实现分子量级的质量传感.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周海峰	浙江大学微电子与光电子研究所	12	51	5.0	6.0
2	韩雁	浙江大学微电子与光电子研究所	62	299	9.0	15.0
3	马绍宇	浙江大学微电子与光电子研究所	10	52	5.0	7.0
4	董树荣	浙江大学微电子与光电子研究所	51	627	14.0	23.0
5	李侃	浙江大学微电子与光电子研究所	6	49	5.0	6.0