平面螺旋电感耦合微波等离子体源的建模分析

• 作者: 廖斌 曹焕丽 朱守正
• 来源期刊: 电波科学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 平面螺旋电感耦合 微波等离子体源 品质因数 数值分析
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 页码范围: 400-404
• 页数: 5页
• 分类号: TN99
• 字数: 2879字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-0388.2007.03.009

摘要

介绍了一种小型化的2.45GHz小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的建模方法.根据等效电路,推导出平面螺旋电感线圈的品质因数,并进行数值分析.研究表明:无载品质因数随结构、尺寸和频率等的变化而变化,并在谐振频率附近达到最大值.这为小功率电感耦合微波等离子体源的优化设计提供了理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	廖斌	华东师范大学信息学院电子系	33	128	6.0	9.0
2	朱守正	华东师范大学信息学院电子系	59	225	8.0	12.0
3	曹焕丽	华东师范大学信息学院电子系	2	6	2.0	2.0