电子束重复增量扫描曝光技术

• 作者: 冯圣玉 卢文娟 孔祥东 张玉林
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束曝光 吸收能量密度 剂量 溶解速度 抗蚀剂
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 粒子束技术
• 页码范围: 503-506
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2185字
• 语种: 中文

摘要

提出了电子束重复增量扫描曝光技术新概念,对吸收能量密度与深度和曝光剂量之间的关系、溶解速度与吸收能量密度之间的关系进行了理论分析,发现溶解速度随曝光剂量增加而增大.以此为依据,在SDS-3型电子束曝光机上采用20 keV能量的电子束对570 nm厚的聚甲基丙烯酸甲酯进行了7次重复增量扫描曝光实验,得到了轮廓清晰的梯锥和圆锥3维结构,证明了电子束重复增量扫描曝光技术的可行性,为电子束加工3维结构提供了新工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯圣玉	山东大学化学与化工学院	89	717	14.0	22.0
2	张玉林		18	76	5.0	8.0
3	卢文娟		12	47	4.0	6.0
4	孔祥东	山东大学化学与化工学院	12	74	4.0	8.0