Mn-Mg共掺杂对钛酸锶钡薄膜介电性能的影响

• 作者: 周歧刚 姚熹 翟继卫
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: BST薄膜 Mn-Mg共掺杂 溶胶-凝胶方法 介电性能
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 519-523
• 页数: 5页
• 分类号: TB34|TM22
• 字数: 4508字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2007.03.029

摘要

用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了系列Mn-Mg共掺杂的钛酸锶钡(Ba0.25Sr0.75TiO3)薄膜.X射线衍射以及场发射扫描电镜分析表明:薄膜为钙钛矿结构且无杂相生成,薄膜表面晶粒均匀、无裂纹.测试了不同浓度掺杂薄膜的介电性能,掺杂浓度为1mol%时,薄膜的介电常数、损耗、可调性和漏电流密度分别为200、0.010、38%、1×10-5 A/cm2.性能改善后的薄膜材料可以用来制作微波可调器件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚熹	同济大学功能材料研究所	123	956	16.0	21.0
2	周歧刚	同济大学功能材料研究所	12	21	2.0	4.0
4	翟继卫	同济大学功能材料研究所	35	241	9.0	13.0