采用干涉型光热位移相位信号测量薄膜热扩散率

• 作者: 王汝笠 祖小涛 蒋晓东 郑万国 陈习权
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 热扩散率 光热位移 温度场 相位信号
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 页码范围: 473-475
• 页数: 3页
• 分类号: TN247|O484.5
• 字数: 2041字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2007.06.017

摘要

介绍了待测样品在激光辐照下光热位移信号的理论表达式,阐述了信号相位与热扩散率以及调制频率之间的关系;基于该关系并结合相关资料,提出了一种新的采用迈克尔干涉检测装置测量热扩散率的简便方法,分析了其相对于传统测量方法的优势.采用该装置对Ti及TiO2复合薄膜样品进行了测量,由光热位移相位信号与调制频率之间的关系,计算得到了待测样品的热扩散率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王汝笠	中国科学院上海技术物理研究所	27	271	9.0	15.0
2	祖小涛	电子科技大学物电学院	111	627	12.0	17.0
3	郑万国	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	106	868	15.0	22.0
4	蒋晓东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	47	476	14.0	19.0
5	陈习权	中国科学院上海技术物理研究所	5	68	4.0	5.0