高线性数字式电容微位移传感器

• 作者: 常春波 李晓芳
• 来源期刊: 山西师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 数字式 线性 电容式传感器 微位移
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 64-66
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1313字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-4490.2007.04.017

摘要

设计了一种基于AD7745芯片的数字式的电容微位移传感器,采用屏蔽电缆和电容保护环技术,有效降低杂散电容的影响.采用数据滤波技术对采样数据进行处理,提高了测量的准确性和重复性.实验结果表明:该电容微位移传感器的分辨力为0.01μm,全量程线性度0.05%,性能较传统电容位移传感器有较大提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李晓芳	山西大学理论物理研究所	5	10	2.0	3.0
5	常春波		13	76	5.0	8.0