微波等离子体增强法合成氮杂二氧化钒

• 作者: 刘羽 王升高 陈金民 黄志良
• 来源期刊: 钢铁钒钛
• 学科: 化学
• 关键词: 微波等离子体增强 氮杂VO2-xNy 薄膜 相变温度
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 新工艺新技术
• 页码范围: 6-8,26
• 页数: 4页
• 分类号: TB43|O614.51+1
• 字数: 1793字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-7638.2007.02.002

摘要

选用V2O5为前驱物,通过在玻璃片上镀膜,利用高纯氢和高纯氮作为气源,采用微波等离子体增强法,在低温条件下合成了氮杂二氧化钒(VO2-xNy)样品.通过XRD表征了样品的成分,结果表明:合成的样品为氮杂二氧化钒,样品的结晶度较低,颗粒尺寸较小;相变温度测试结果表明:通过氮掺杂可以有效降低二氧化钒薄膜的相变温度,目前最低可以降低至42 ℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘羽	武汉工程大学湖北省等离子体重点实验室	27	204	8.0	13.0
2	黄志良	武汉工程大学湖北省等离子体重点实验室	87	317	9.0	12.0
3	陈金民	武汉工程大学湖北省等离子体重点实验室	6	29	3.0	5.0
4	王升高	武汉工程大学湖北省等离子体重点实验室	35	104	5.0	8.0