用干涉条纹图像重建反射镜的三维面形

• 作者: 余亮英 曹华梁 程祖海
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉条纹 图像处理 去噪 泽尼克多项式
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 信息科学
• 页码范围: 599-603
• 页数: 5页
• 分类号: TP391.4
• 字数: 2326字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.04.026

摘要

给出了用干涉条纹图像重建反射镜三维面形的方法,用泰曼格林干涉仪采集被测镜面的干涉条纹图像,通过对于涉条纹图像进行处理得到镜面高度采样,采用泽尼克多项式拟合镜面的曲面函数,测量到了镜面的三维高度数据.干涉条纹图像上相邻条纹与参考面之间的距离相差一个标准光源波长,因而该测量方法的关键是得到条纹波峰或波谷的精确位置,从而达到了镜面相对高度的采样的目的.采用巴特沃斯低通滤波对条纹图像进行滤波,去掉噪声的影响,然后对图像二值化分割出亮条纹,用数学形态法对二值条纹图像细化得到条纹的中心线,结果表明,低通滤波方法能有效地减少细化条纹的分支和断裂.最后定义每条条纹中心线的相对高度,利用前39项泽尼克多项式对镜面高度进行最小二乘法拟合,计算了镜面被测区域的曲面高度数据.该方法可以用来测量强激光引起的镜面热变形.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程祖海	华中科技大学武汉光电国家实验室激光科学与技术研究部	97	785	14.0	21.0
2	曹华梁	华中科技大学武汉光电国家实验室激光科学与技术研究部	16	93	6.0	9.0
3	余亮英	华中科技大学武汉光电国家实验室激光科学与技术研究部	24	270	11.0	15.0