纳米金刚石抛光液制备及应用

• 作者: 侯书恩 杨晓光 靳洪允
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米金刚石抛光液 分散 应用
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 67-71
• 页数: 5页
• 分类号: TQ164
• 字数: 4697字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2007.03.018

摘要

随着光电信息产业的迅猛发展,纳米金刚石抛光液成为了超精密抛光领域的研究热点.本文首先总结了国内外专家、学者关于纳米金刚石微粉在水性和油性介质中的分散方面的一些研究工作,对微粉在介质中的分散、稳定机理进行了初步的探讨;并对纳米金刚石抛光液的制备以及抛光液在半导体硅片、计算机硬盘基片、计算机磁头、光纤连接器以及其它材料的表面超精密抛光应用进行了综述.水基纳米金刚石抛光液可能是未来抛光液的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	靳洪允	中国地质大学材料科学与化学工程学院	18	222	9.0	14.0
2	侯书恩	中国地质大学材料科学与化学工程学院	23	304	8.0	17.0
3	杨晓光	中国地质大学材料科学与化学工程学院	7	53	4.0	7.0