基于光谱光学相干层析技术的膜系反射光谱测量

• 作者: 丁志华 孟婕 陈宇恒
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 光谱测定 光谱光学相干层析 傅里叶变换 多层膜系 反射率
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 825-828
• 页数: 4页
• 分类号: TN247
• 字数: 2384字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2007.06.018

摘要

根据光谱光学相干层析(OCT)技术的原理,建立了光谱光学相干层析系统,并利用该系统测量了膜系的反射光谱.该方法通过傅里叶变换实现了光学相干层析信号光谱信息的提取,克服了传统反射测量方法测量结果不直观、受非测量面干扰等问题.测量所得的光谱反射率,与商业仪器的测量值吻合较好,均方差仅为0.0488.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁志华	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	59	600	16.0	21.0
2	陈宇恒	苏州大学现代光学技术研究所	5	114	4.0	5.0
5	孟婕	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	9	96	5.0	9.0