基于ASIC芯片的微小电容测量电路研究

• 作者: 常洪龙 李晓莹 胡敏 蒋庆华
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 微小电容 电容式传感器
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 页码范围: 379-382
• 页数: 4页
• 分类号: TB971
• 字数: 3099字
• 语种: 中文

摘要

基于一款专用集成电路芯片(ASIC)HT133实现了一种微小电容测量电路.该电路具有高分辨率、高抗干扰性、偏置调节能力和模拟、数字信号两种输出模式等特点.文中详细论述了测量电路的实现以及电路的抗干扰措施,并通过测定一组微小电容验证了电路的性能.实验表明,电路分辨率达0.5 fF,非线性度8.67%.该电路在各种电容式传感器特别是微机电系统(MEMS)传感器中有广泛的应用前景.