有机聚合物光波导的端面处理研究

• 作者: 崔一平 恽斌峰 胡国华 钱淑冰
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 光集成器件 聚合物光波导 封装 抛光
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 长三角光子技术与应用论坛会议论文
• 页码范围: 228-230,234
• 页数: 4页
• 分类号: O472+.8
• 字数: 2421字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-488X.2007.04.004

摘要

主要研究如何在不损伤聚合物的前提下,实现聚合物波导的端面处理,即对端面的研磨和抛光.由于硅材料和聚合物材料的物理特性差别,除了要选择好特定的抛光材料以外,在抛光时还要特别控制抛光速度和抛光时间:速度过快会造成硅片"塌边"和损坏聚合物膜.试验结果表明:抛光速度在50 r/min以上很容易造成损伤;速度在20 r/min左右的抛光效果较理想.抛光时间不够则不能达到抛光要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔一平	东南大学先进光子学中心	160	1201	18.0	26.0
2	恽斌峰	东南大学先进光子学中心	28	218	8.0	14.0
3	胡国华	东南大学先进光子学中心	21	71	4.0	8.0
4	钱淑冰	东南大学先进光子学中心	1	4	1.0	1.0