一种新型挠性轴内置式扭摆微加速度计的设计

• 作者: 姜澄宇 崔金强 常洪龙 苑伟政 蒋庆华
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微加速度计 挠性轴内置 闭环仿真 开环测试
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 物理量传感器
• 页码范围: 231-234
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 1772字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.074

摘要

针对扭摆式加速度计的结构特点,为了有效利用硅片面积和提高质量块质量,设计了一种新型挠性轴内置于质量块的扭摆式加速度计,该结构具有检测电极和力反馈电极.根据结构设计参数,推导出中心敏感电容、等效质量、机械灵敏度的参数表达式.利用扭摆加速度计的数学模型,建立了加速度计表头系统级模型,并结合接口电路进行闭环整体仿真,调整校正环节参数,得到闭环系统性能指标.最后进行初步开环测试,测得加速度计的灵敏度为33 mV/g,非线性度2.29%.