尼康开发出支持第4代玻璃底板的液晶面板

• 作者: 季旭东
• 来源期刊: 光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 液晶面板 玻璃底板 开发 尼康 小尺寸 曝光装置 高性能化 分辨率
• 年，卷（期）: gdjs_2007,（4）
• 页码范围: 44
• 页数: 1页
• 分类号: TN873.93

摘要

尼康开发出了2款支持第4代玻璃底板（尺寸为730mm×920mm）的中小尺寸液晶面板用曝光装置。其中包括生产率比原机型提高10％的“FX-803M”以及分辨率增至1．5ktm的“FX-903M”，能支持手机及车载用小尺寸液晶面板的高精细化和高性能化的产品。计划4月开始受理订单。