植入式双面柔性神经微电极制作方法的研究

• 作者: 任秋实 周洪波 李刚 赵建龙 金庆辉
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 医学
• 关键词: 神经工程 植入式微电极 柔性微电极 双面微电极
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 54-59
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.3|R197.39
• 字数: 3074字
• 语种: 中文

摘要

为了减小植入损伤,提高神经微电极刺激或记录的空间密度,提出了一种基于聚合物基质材料的植入式双面柔性神经微电极的制作工艺和方法.该方法采用光敏型聚酰亚胺(Durimide 7510)作为微电极的基质材料,通过粘结剂局部键合和电化学腐蚀牺牲层的方法实现电极翻转以制作反面电极.同时采用了一种基于应力集中的凹槽结构,以保证所得微电极形状的规整性.微电极的SEM和电学性能测试结果表明,微电极的结构形貌和电学性能满足植入式电极的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金庆辉	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	90	737	15.0	19.0
2	赵建龙	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	140	1166	18.0	26.0
3	任秋实	上海交通大学激光与生物医学研究所	76	566	13.0	20.0
4	李刚	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	206	2926	26.0	46.0
8	周洪波	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	7	39	3.0	6.0