金属氮化物硬质膜层"合金化"的研究进展

• 作者: 宋贵宏 李锋 陈立佳 靳伟
• 来源期刊: 沈阳工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硬质膜层 氮碳化物 氮硼化物 多元金属氮化物 抗氧化性 耐磨性
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 513-518
• 页数: 6页
• 分类号: TB43
• 字数: 6110字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1646.2007.05.008

摘要

通过展示近年来国内外金属氮化物膜层的研究结果,探究了膜层晶体结构、微观组织的变化规律和提高性能的途径;列举了大量文献进行分析.结果表明:添加C或B元素,可形成"替位式"的金属氮碳化物或氮硼化物膜层,具有明显的固溶强化效应;大部分氮硼化物膜层,都可生成细小的金属硼化物,对性能的提高非常有力;加入Si可以细化晶粒,提高膜层的韧性和耐磨性.在TiN和CrN膜层中加入金属合金化元素(如Al、Zr等),除具有明显的固溶强化效应外,还能显著提高膜层的高温氧化阻力和腐蚀阻力,提高膜层的耐磨性.沉积膜层的显微组织结构,可以通过调整"合金化"元素的比率来改变,并由此可以对膜层性能进行调制.通过"合金化",金属氮化物膜层的晶体结构、微观组织都可以调制,综合性能显著改善和提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李锋	沈阳工业大学材料科学与工程学院	42	723	9.0	26.0
2	陈立佳	沈阳工业大学材料科学与工程学院	127	664	13.0	19.0
3	宋贵宏	沈阳工业大学材料科学与工程学院	25	145	7.0	11.0
4	靳伟	沈阳工业大学材料科学与工程学院	1	8	1.0	1.0