热稳定自旋阀磁传感器及其性能优化研究

• 作者: 任天令 刘理天 叶双莉 曲炳郡 李伟 郑洋
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 巨磁电阻 自旋阀 磁传感器
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 物理量传感器
• 页码范围: 228-230
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.13
• 字数: 1747字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.073

摘要

对一种Ta/NiFeCr/CoFe/Cu/CoFe/MnIr/Ta结构的顶钉扎自旋阀进行了优化.对自旋阀各层材料在整个结构中所起的作用进行了分析,并通过实验,研究自旋阀中每一层的厚度对磁电阻变化率(MR)的影响.最终得到了在80℃下磁电阻变化率高达10.5%的GMR自旋阀.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子所	230	1519	19.0	23.0
2	任天令	清华大学微电子所	87	600	13.0	19.0
3	李伟	清华大学微电子所	88	760	15.0	23.0
4	曲炳郡	清华大学微电子所	20	41	4.0	5.0
5	郑洋	清华大学微电子所	4	3	1.0	1.0
6	叶双莉	清华大学微电子所	3	7	2.0	2.0