不同厚度Al滤片对17～33 nm高次谐波抑制的定量研究

• 作者: 周洪军 张国斌 戚泽明 郑津津 钟鹏飞 霍同林
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 同步辐射 高次谐波抑制 A1滤片
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1016-1020
• 页数: 5页
• 分类号: O434.12
• 字数: 2603字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.07.004

摘要

利用840 1/mm的金膜透射光栅分光和AXUVl00G光电二极管(PD)探测器研究了不同厚度的Al滤片对光谱辐射标准和计量线(U27)球面光栅单色器(SGM)分支17～33 nm波段高次谐波的抑制情况.结果表明,A1滤片厚为400nm时,在17～33 nm波段有较好的抑制效果且能保证探测器的信号强度,高次谐波信号强度分量小于2%.经过探测器量子效率修正后,高次谐波分量小于0.6%,这对多层膜反射率的定标及探测器定标有着重要的意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	霍同林	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	33	178	9.0	12.0
2	郑津津	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	56	224	8.0	11.0
3	周洪军	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	41	221	10.0	13.0
4	张国斌	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	44	298	10.0	15.0
5	戚泽明	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	30	221	9.0	13.0
6	钟鹏飞	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	10	48	5.0	6.0