计量线高次谐波的定量研究

• 作者: 周洪军 张国斌 戚泽明 郑津津 钟鹏飞 霍同林
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 光谱定标 光束线 高次谐波 光谱计量
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 640-645
• 页数: 6页
• 分类号: O434.12
• 字数: 3180字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.05.004

摘要

采用自制的840/mm金膜自支撑透射光栅和美国IRD公司的AXUV100G光电二极管探测器,定量研究了光谱辐射标准和计量光束线在5～140 nm波段的高次谐波.研究了Al、Si3N4和Zr滤片在不同能量范围对高次谐波的抑制作用,给出了实验数据和曲线.实验结果显示:在5～15 nm波段,不用任何滤片高次谐波的信号强度＜7%;在5～34 nm波段,适当的选用Al、Si3N4和Zr滤片可有效地抑制高次谐波,将高次谐波占基波的积分信号强度比例控制在＜14%,经探测器的量子效率修正后高次谐波的百分比在6.5%以内.在经过MgF2窗滤波的115～140 nm波段,高次谐波的衍射峰几乎完全被抑制.这一研究为软X射线和极紫外的光谱计量、探测器定标和光学元件性能测试奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	霍同林	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	33	178	9.0	12.0
2	郑津津	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	56	224	8.0	11.0
3	周洪军	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	41	221	10.0	13.0
4	张国斌	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	44	298	10.0	15.0
5	戚泽明	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	30	221	9.0	13.0
6	钟鹏飞	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	10	48	5.0	6.0