计量线5～140nm波段高次谐波分布及其抑制

• 作者: 周洪军 夏玄志 郑津津 霍同林
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 同步辐射 光谱计量 高次谐波 抑制
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1550-1556
• 页数: 7页
• 分类号: O434.12|O433.1
• 字数: 3068字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162407.1550

摘要

为了修正和提高计量线覆盖的5～140 nm波段光学元件性能的定标和测量精度,根据国家同步辐射实验室光谱辐射标准和计量光束线的高次谐波分布设计了高次谐波的抑制方案.利用3 500,840 l/mm金膜自支撑透射光栅和光电二极管探测器研究了计量线在5～140 nm波段高次谐波的分布情况,并据此提出了利用Si、Al、Al/Mg/Al滤片以及LiF窗、MgF2窗在不同波段对高次谐波进行抑制的方法.实验结果显示:在5～15 nm波段,无滤片情况下高次谐波含量极低;在15～40 nm波段,通过在相应波段添加适当滤片的方式,经探测器量子效率修正后的高次谐波比例可抑制在1.8％以下;在105～140 nm、115～140 nm波段,运用LiF窗、MgF2窗滤波可使高次谐波比例基本为零.由此表明,使用滤波片对全波段抑制谐波的方案是有效的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	霍同林	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	33	178	9.0	12.0
2	郑津津	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	56	224	8.0	11.0
3	周洪军	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	41	221	10.0	13.0
4	夏玄志	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	1	3	1.0	1.0